Currently solved projects of the department:
Smart Wound monitoring Restorative Dressings Inteligentné diagnosticko-terapeutické náplasti | |
Program: Horizont 2020 Responsible researcher: RNDr. Bardošová Mária, CSc. | ID: H2020-873123 Duration: 1.1.2020 – 30.6.2025 |
Website: https://cordis.europa.eu/project/id/873123 | |
Preparation of nanometer patterns in 2D materials using electron beam lithography Príprava štruktúr nanometrových rozmerov v 2D materiáloch použitím elektrónovej litografie | |
Program: Mobility Responsible researcher: Ing. Mgr. Andok Robert, PhD. | ID: BAS-SAS-2022-05 Duration: 1.1.2023 – 31.12.2024 |
Microelectromechanical sensors with radio frequency data transmission Mikroelektromechanické senzory s rádiofrekvenčnýcm prenosom údajov | |
Program: APVV Responsible researcher: Ing. Havlík Štefan, DrSc. | ID: APVV-20-0042 Duration: 1.7.2021 – 30.6.2025 |
Nanostructured semiconducting materials and their integration into chemoresistive gas sensors and heavy metal sensors Nanoštruktúrne polovodivé materiály a ich integrácia do chemoodporových senzorov plynov a do senzorov ťažkých kovov | |
Program: VEGA Responsible researcher: RNDr. Kostič Ivan | ID: 1/0789/21 Duration: 1.1.2021 – 31.12.2024 |
Progressive methods of the transfer of nanostructured semiconductive 2D materials based on transition metal dichalcogenides onto microelectronic elements Progresívne metódy transferu nanoštruktúrnych polovodivých 2D materiálov na báze dichalkogenidov tranzitných kovov do mikroelektronických prvkov | |
Program: VEGA Responsible researcher: Ing. Mgr. Andok Robert, PhD. | ID: 2/0099/22 Duration: 1.1.2022 – 31.12.2025 |
Finished projects:
Innovation of sub-micrometer electron beam lithography Inovácia sub-mikrometrovej elektrónovej litografie | |
Program: Bilateral – others Responsible researcher: RNDr. Kostič Ivan | ID: SK-BUL-010-06 Duration: 1.1.2007 – 31.12.2009 |
Website: http://www.ie-bas.dir.bg/Departments/Beamtech.htm | |
Molecular-friendly processes for fabrication of molecular electronic devices Kompatibilné molekulárne procesy pre prípravu molekulárnych elektronických obvodov | |
Program: Bilateral – others Responsible researcher: RNDr. Kostič Ivan | ID: SK-GR-047-11 Duration: 1.1.2013 – 31.12.2014 |
Correlation of structure and magnetism in novel nanoscale magnetic particles Korelácia štruktúry a magnetických vlastností nových magnetických nano častíc | |
Program: 5RP Responsible researcher: RNDr. Kostič Ivan | ID: 150 Duration: 1.3.2000 – 31.7.2004 |
Website: http://agfarle.uni-duisburg.de/RTN | |
An individual stimulating system with 3D nano-structure carbon/graphene based transducer and wireless heater for automated tiny insects behavior monitoring Monitorovací a stimulačný systém s 3D snímačom a mikro-ohrievačom na báze uhlíka/grafénu s bezdrôtovým ovládaním pre automatizované individuálne monitorovanie a stimuláciu drobného hmyzu | |
Program: JRP Responsible researcher: Ing. Mgr. Andok Robert, PhD. | ID: SAS-MOST JRP2017/1 Duration: 1.1.2018 – 31.12.2022 |
Design and simulation for micro robotic devices Návrh a simulácia mikrorobotických prístrojov | |
Program: Interacademic agreement Responsible researcher: Ing. Havlík Štefan, DrSc. | ID: Project No 605 Duration: 1.1.2004 – 31.12.2006 |
Semiconducting Metal Oxide – New Materials For Environmental Sensors Polovodivé oxidy kovov – nové materiály pre environmentálne senzory | |
Program: Mobility Responsible researcher: Ing. Mgr. Andok Robert, PhD. | ID: SAS-BAS-21-04 Duration 1.1.2021 – 31.12.2022 |
Radical Innovation Maskless Nanolithography Radikálna inovácia bezmaskovej nanolitografie | |
Program: 6RP Responsible researcher: RNDr. Kostič Ivan | ID: 17133 Duration: 1.10.2005 – 30.9.2008 |
Website: www.rimana.org, http://cordis.europa.eu/fetch?CALLER=FP6_PROJ=D=74659=1=PROJ=14 | |
Technology for the Production of Massively Parallel Intelligent Cantilever – Probe Platform for Nanoscale Analysis and Synthesis Technológia výroby matice paralelných inteligentných nosníkov –sondových platform pre analýzu a syntézu v nanometrovej oblasti | |
Program: 6RP Responsible researcher: RNDr. Kostič Ivan | ID: 515739 Duration: 1.4.2005 – 30.9.2010 |
Website: www.pronano.org | |
Nano-structuring by Electron Beam Lithography for Sensor Application Tvarovanie štruktúr pre senzorové aplikácie s využitím elektrónovej litografie | |
Program: Bilateral – others Responsible researcher: RNDr. Kostič Ivan | ID: APVV SK-BG-2013-0030 Duration: 9.5.2016 – 31.12.2017 |
Robust Lithography of Submicron nad Nano-dimensional Structures Výkonná litografia submikrometrových a nanometrových štruktúr | |
Program: Bilateral – others Responsible researcher: RNDr. Kostič Ivan | ID: SK-BG-0037-10 Duration: 1.1.2012 – 31.12.2013 |
Study of electron beam resists and patterning of nano-structures by electron beam lithography for gas sensor applications Výskum elektrónových rezistov a príprava nanoštruktúr s využitím elektrónovej litografie vo výskume senzorov plynu | |
Program: Interacademic agreement Responsible researcher: RNDr. Kostič Ivan | ID: JRP SAS-BAS 2015-2017 Duration: 1.1.2015 – 31.12.2017 |
(Micro) Electro-mechnisms for robotics and extremely work spaces (enviroments). (Mikro) Elektro-Mechanizmy pre robotiku a extrémne pracovné prostredia. | |
Program: VEGA Responsible researcher: Ing. Havlík Štefan, DrSc. | ID: 2/0048/13 Duration: 1.1.2013 – 31.12.2015 |
Centre of Excelence for New Technologies in Electrical Engineering Budovanie Centra excelentnosti pre nové technológie v elektrotechnike – II. etapa | |
Program: EU Structural Funds Research and Development Responsible researcher: RNDr. Kostič Ivan | ID: ITMS – 262 401 200 19 Duration: 1.3.2010 – 28.2.2013 |
Website: http://www.elu.sav.sk/old/cente/index.html | |
Center of Excellence for New Technologies in Electrical Engineering Centrum excelentnosti pre nové technológie v elektrotechnike – I.etapa | |
Program: EU Structural Funds Research and Development Responsible researcher: RNDr. Kostič Ivan | ID: ITMS – 26240120011 Duration: 15.5.2009 – 14.5.2011 |
Website: http://www.elu.sav.sk/old/cente/index.html | |
Electron beam lithography of nanometer structures for 2D materials on the base of metal sulfides Elektrónová litografia nanometrových štruktúr pre 2D materiály na báze sulfidov kovov | |
Program: VEGA Responsible researcher: Ing. Mgr. Andok Robert, PhD. | ID: 2/0119/18 Duration: 1.1.2018 – 31.12.2021 |
Electron Spin PolaRImeTer based on thin ferromagnetic membranes Elektrónový spinový polarimeter na báze tenkých feromagnetických membrán | |
Program: APVV Responsible researcher: Ing. Mgr. Andok Robert, PhD. | ID: SK-FR-2013-0032 Duration: 1.1.2014 – 31.12.2015 |
Physics of Information Fyzika informácie | |
Program: Centers of Excellence of the Slovak Academy of Sciences Responsible researcher: RNDr. Kostič Ivan | ID: Duration: 1.1.2005 – 31.12.2008 |
Website: http://www.quniverse.sk/cepi/ | |
Hybrid Spintronic Nanostructures Controlled by Spin-Polarized Current Hybridné spintronické štruktúry riadené spinovopolarizovaným prúdom | |
Program: APVV Responsible researcher: RNDr. Kostič Ivan | ID: APVV-0173-06 Duration: 1.1.2007 – 30.4.2010 |
Website: http://www.fu.sav.sk/?q=sk/projects#APVV | |
Mechatronic vision system Mechatronický vizuálny systém | |
Program: VEGA Responsible researcher: Doc. Ing. Dobrovodský Karol, PhD. | ID: 2/0145/10 Duration: 1.1.2010 – 31.12.2012 |
MEMS structures based on load cell MEMS štruktúry na báze poddajných mechanizmov | |
Program: APVV Responsible researcher: Ing. Havlík Štefan, DrSc. | ID: APVV-14-0076 Duration: 1.7.2015 – 30.6.2019 |
Micro-electro-mechanical structures and sensors for use in the automotive industry and transportation Mikro-elektro-mechanické štruktúry a senzory pre využitie v automobilovom priemysle a doprave | |
Program: EU Structural Funds Transport Responsible researcher: Ing. Mgr. Andok Robert, PhD. | ID: NFP313011X741 Duration: 1.1.2016 – 31.12.2019 |
Website: mems.sk | |
Micro-electro-mechanical structures and sensors for aplication in automotive industry Mikro-elektro-mechanické štruktúry a senzory pre využitie v automobilovom priemysle a dopraveKód | |
Program: EU Structural Funds Research and Innovation Responsible researcher: Ing. Mgr. Andok Robert, PhD. | ID: 313011X741 Duration: 1.1.2016 – 31.12.2019 |
Website: http://mems.sk | |
Nanostructured thin-film materials and innovative technologies for MEMS gas and heavy metal sensors Nanoštruktúrne tenkovrstvové materiály a inovatívne technológie pre MEMS senzory plynov a ťažkých kovov | |
Program: VEGA Responsible researcher: RNDr. Kostič Ivan | ID: 1/0828/16 Duration: 1.1.2016 – 31.12.2019 |
Durable sensor system for industrial environments with high pressures, temperatures and high levels of electromagnetic interference Odolný senzorický systém do priemyselných prostredí s vysokými tlakmi, teplotami a vysokým stupňom elektromagnetického rušenia (EkoWatt) | |
Program: EU Structural Funds Research and Development Responsible researcher: Ing. Mgr. Andok Robert, PhD. | ID: ITMS 26240220037 Duration: 1.1.2011 – 31.10.2013 |
Website: http://www. ekowatt.sk/projekty/ | |
Computer kit for development, modeling, simulation and animation of mechatronic systems Počítačová stavebnica pre vývoj, modelovanie, simuláciu a animáciu mechatronických systémov | |
Program: VEGA Responsible researcher: Doc. Ing. Dobrovodský Karol, PhD. | ID: 2/7100/27 Duration: 1.1.2007 – 1.12.2009 |
Advanced MEMS chemical sensors for extreme conditions Pokročilé MEMS chemické senzory pre extrémne podmienky | |
Program: APVV Responsible researcher: RNDr. Kostič Ivan | ID: APVV-0655-07 Duration: 1.6.2008 – 31.12.2010 |
Website: www.elu.sav.sk | |
Preparation of \’active\’ tips for probe microscopy by MOCVD Príprava \’aktívnych\’ hrotov sondovej mikroskopie metódou MOCVD | |
Program: APVV Responsible researcher: RNDr. Kostič Ivan | ID: APVV-51-045705 Duration: 1.1.2007 – 31.10.2009 |
Website: http://www.elu.sav.sk/apvv.html | |
Tools for design and simulation of (Micro) Electro-Mechanical Systems (MEMS). Prostriedky pre návrh a modelovanie (mikro) elektro-mechanických systémov (MEMS). | |
Program: VEGA Responsible researcher: Ing. Havlík Štefan, DrSc. | ID: 2/4147/04 Duration: 1.1.2004 – 31.12.2006 |
Tools for design, modeling and simulation of micro electro-mechanical systems /MEMS/ Prostriedky pre návrh, modelovanie a simuláciu mikro-elektromechanických štruktúr a mechanizmov /MEMS/ | |
Program: VEGA Responsible researcher: Ing. Havlík Štefan, DrSc. | ID: 2/7099/27 Duration: 1.1.2007 – 31.12.2009 |
Construction and control of micro-electro-mechanical elements and devices. Stavba a riadenie mikro-elektro-mechanických prvkov a zariadení. | |
Program: VEGA Responsible researcher: Ing. Havlík Štefan, DrSc. | ID: 2/0006/10 Duration: 1.1.2010 – 31.12.2012 |
Technology for the Production of Massively Parallel Intelligent Cantilever – Probe Platform for Nanoscale Analysis and Synthes Technológia výroby matice paralelných inteligentných nosníkov – sondových platform pre analýzu a syntézu v nanometrovej oblasti | |
Program: Scientific and technical projects Responsible researcher: RNDr. Kostič Ivan | ID: Duration: 1.1.2009 – 31.12.2009 |
Investigation of novel nanolithographic technologies Výskum nových nanolitografických technológii | |
Program: VEGA Responsible researcher: Ing. Hrkút Pavol, CSc. | ID: 2/0214/09 Duration: 1.1.2009 – 31.12.2011 |
Website: www.ui.sav.sk/ebl | |
Investigation of Novel Resist Materials for Next Generation Lithography Výskum nových rezistových materiálov pre litografiu novej generácie | |
Program: VEGA Responsible researcher: Ing. Hrkút Pavol, CSc. | ID: VEGA 2/6184/26 Duration: 1.1.2006 – 1.12.2008 |
Investigation of processes for the preparation of structures for nanometer scale devices Výskum procesov prípravy štruktúr pre obvody na nanometrovej úrovni | |
Program: VEGA Responsible researcher: Ing. Mgr. Andok Robert, PhD. | ID: 2/0134/15 Duration: 1.1.2015 – 31.12.2017 |
PFO-CAD CP93: 7896 – Copernicus program – Geometric Modeling for CIM-oriented Virtual Reality PFO-CAD CP93: 7896 – Copernicus program – Geometric Modeling for CIM-oriented Virtual Reality | |
Program: Others Responsible researcher: Ing. Sebestyénová Jolana, PhD. | ID: CP93: 7896 Duration: 1.2.1994 – 30.4.1995 |
Website: http://cordis.europa.eu/project/rcn/30200_en.html | |
Processing of sensor data via Artificial Intelligence methods. Spracovanie údajov zo senzorov prostriedkami umelej inteligencie | |
Program: VEGA Responsible researcher: Ing. Malík Peter, PhD. | ID: VEGA 2/0155/19 Duration 1.1.2019 – 31.12.2022 |
Research and development of new information technologies for anticipating and resolving crisis situations and ensuring public safety Výskum a vývoj nových informačných technológií na predvídanie a riešenie krízových situácií a bezpečnosť obyvateľstva (CRISIS) | |
Program: EU Structural Funds Research and Developmentj Responsible researcher: doc. Ing. Hluchý Ladislav, CSc. | ID: ITMS 26240220060 Duration 3.1.2011 – 31.12.2013 |
Actual and recent projects (annotations):
Microelectromechanical sensors with radio frequency data transmission Mikroelektromechanické senzory s rádiofrekvenčnýcm prenosom údajov | |
Annotation: The project elaborates the method proposed by the authors, especially of mechanical quantities with wirelesssignal / energy transmission via electromagnetic field, solution of sensors as well as (micro) electro-mechanisms(MEMS). The task is a logical continuation of the results achieved within the successful solution of the previousproject APVV 14-0076, where the principle of scanning and conception of the sensor solution according to theoriginal design (utility model 8653, published patent applications PP 121-2018) was designed and verified. Thepresented project represents further theoretical and methodological-experimental processing in order to meetspecific requirements for the solution of specific sensors including compliant – deformation members and electronicevaluation circuits as well as other electro-mechanisms with respect to selected applications. Part of the solution isto create tools for modeling, simulation and optimization of properties using available MEMS technologies. Theproject aims to follow the latest global trend in MEMS solutions. |
Smart Wound monitoring Restorative Dressings (Description in Slovak language) Inteligentné diagnosticko-terapeutické náplasti | |
Anotácia: Cieľom projektu je spojiť odborné znalosti a zdroje štyroch akademických skupín pracujúcich v oblasti materiálového výskumu a dvoch malých a stredných podnikov, z ktorých jeden sa zaoberá výrobou komerčných medicínskych materiálov a má vlastné výskumné kapacity. Konzorcium plánuje vyvinúť obväzy na rany, ktoré možno hodnotiť ako radikálnu inováciu v oblasti starostlivosti o chronické rany. Naše úsilie sa sústredí na návrh nového produktu, ktorý bude kombinovať diagnostické a terapeutické účinky a uľahčí hojenie rán, pričom zároveň minimalizuje náklady na liečbu a optimalizuje manažment rán, čím pozitívne ovplyvní pohodu pacienta. Bude sa študovať rad nových kompozitov odvodených z prirodzene sa vyskytujúcich materiálov, ako je chitín a halloysit v kombinácii s koloidmi. Výsledné hybridné materiály budú spracované pomocou mikro- a nano-manipulačných nástrojov, vrátane technológií roll-to-roll a elektrospinningu. Vykoná sa dôkladný program charakterizácie s cieľom pochopiť interakcie na molekulárnej úrovni medzi zloženými komponentmi. Určenie štruktúry materiálov umožní úplné pochopenie toho, ako vznikajú ich vlastnosti, aby ich bolo možné prispôsobiť presne ich aplikácii. Obväz bude obsahovať diagnostické senzory schopné merať pH, vlhkosť, teplotu a súvisiacu bakteriálnu aktivitu, ako aj vysoko absorpčnú vrstvu navrhnutú na odvodnenie rany a uvoľnenie terapeutických činidiel. Každý člen konzorcia má dobré zdroje, pokiaľ ide o zariadenia, infraštruktúru a podporu prenosu technológií, aby poskytoval ideálne prostredie pre výskumný program, školenie mladších výskumníkov a využívanie zistení. Využitím národne financovaných grantov a aktívnym zapojením sa do výmeny výskumu pri snahe o radikálnu inováciu v oblasti „inteligentného“ obliekania sa projekt zameria na všetky tri kľúčové hnacie sily spoločnosti založenej na vedomostiach, konkrétne na výskum, vzdelávanie a inováciu. |
Nanostructured semiconducting materials and their integration into chemoresistive gas sensors and heavy metal sensors (Description in Slovak language) Nanoštruktúrne polovodivé materiály a ich integrácia do chemoodporových senzorov plynov a do senzorov ťažkých kovov | |
Anotácia: Zámerom projektu bude uskutočniť základný výskum v oblasti hľadania nových progresívnych polovodivýchmateriálov na báze kovových oxidov a disulfidov ako aj v oblasti výskumu technológie elektródového materiáluna báze bórom dopovaných diamantových vrstiev. Predpokladáme, že naše aktivity budú zamerané na prípravu a výskum vlastností TiO2, NiO a WS2 vrstiev, ich vybraných kombinácii ako aj na ich dopovanie, pričom takéto nanoštruktúrne polovodivé materiály budú integrované do chemoodporových senzorov plynov umiestnených natenkých elektroizolačných membránach. Pozornosť bude venovaná aj výskumu technológie integrovanéhovoltampérometrického senzora s ochrannou opolmérnou vrstvou Nafionu pre simultánne stanovovanie stopových koncentrácií ťažkých kovov. |
Progressive methods of the transfer of nanostructured semiconductive 2D materials based on transition metal dichalcogenides onto microelectronic elements (Description in Slovak language) Progresívne metódy transferu nanoštruktúrnych polovodivých 2D materiálov na báze dichalkogenidov tranzitných kovov do mikroelektronických prvkov | |
Anotácia: Zámerom projektu je uskutočniť základný výskum v oblasti nových progresívnych nanoštruktúrnych polovodivých materiálov na báze dichalkogenidov tranzitných kovov so zameraním na nanoštruktúrne disulfidy. Cieľom je skúmať vlastnosti vybraných nanoštruktúrnych disulfidov z hľadiska ich využitia v mikrolektronike a ukázať predpokladané prednosti nanoštruktúrnych disulfidov v porovnaní s objemovými polovodičovými materiálmi.Pre tento účel navrhneme modelové mikroelektronické prvky na báze konkrétnych nanoštruktúrnych disulfidovako sú WS2, MoS2, MSe a vypracujeme technologické metódy ich prípravy. Zameriame sa na zvládnutie metódmechanickej a chemickej exfoliácie vrstiev nanoštruktúrnych disulfidov a ich prenosu na mikroelektronický prvok na substráte. V ďalšej časti projektu sa budeme venovať analýze týchto vrstiev a ich štruktúrnych vlastností fyzikálnymi metódami (SEM, AFM, EDX, Ramanova spektroskopia a pod.) a charakterizácii elektrických a transportných vlastností modelovej mikroelektronickej štruktúry. |
Ukončené projekty:
Molecular-friendly processes for fabrication of molecular electronic devices (Description in Slovak language) Kompatibilné molekulárne procesy pre prípravu molekulárnych elektronických obvodov | |
Anotácia: Cieľom tohto projektu je vývoj a optimalizácia technológie prípravy molekulárnych logických obvodov založenej na samoorganizácii molekulárnych monovrstiev, overenie technológie na konkrétnom molekulárnom obvode a následná charakterizácia molekulárneho obvodu. Konkrétne je navrhnutý vývoj molekulárneho spínača. Pri príprave dielektrickej hradlovej a kovovej elektródy je navrhnutý technologický postup, ktorý minimalizuje riziko poškodenia molekulárnej monovrstvy alebo jej elektrických vlastností. To znamená, že nebudú použité roztoky alebo tepelného spracovanie. |
An individual stimulating system with 3D nano-structure carbon/graphene based transducer and wireless heater for automated tiny insects behavior monitoring (Description in Slovak language) Monitorovací a stimulačný systém s 3D snímačom a mikro-ohrievačom na báze uhlíka/grafénu s bezdrôtovým ovládaním pre automatizované individuálne monitorovanie a stimuláciu drobného hmyzu | |
Anotácia: Počas trvania projektu si dávame za cieľ navrhnúť a zhotoviť mikrosnímač polohy na báze 3D uhlíkových štruktúr, čiže ide o zhotovenie monitorovacieho a vyhodnocovacieho systému, ktorý pomôže v experimente pri stanovení presnej polohy drobného hmyzu, za účelom sledovania ich sociálneho správania sa.Ďalej zhotovíme mikroohrievač s bezdrôtovým ovládaním vo forme mikročipu (s prihliadnutím na rozmery a fyziológiu drobného hmyzu), ktorý bude pripevnený na chrbtovej časti sledovaného hmyzu. Súčasťou tohto mikroohrievača bude LC rezonančný obvod (mikrocievka) presne stanovených rozmerov vytvarovaný na tenkej uhlíkovej vrstve (resp. niekoľko mikročipov na báze mikroohrievača s rôznymi rezonančnými frekvenciami pre monitorovanie viacerých, ca 10, drozofíl súčasne). Odladenie technológie výroby a funkčnosti prototypu mikroohrievača bude predmetom experimentov na UI SAV v úzkej spolupráci s ElU SAV. Pôsobením riadeného vonkajšieho el.-magn. poľa dôjde v dôsledku el.mag. indukcie k lokálnemu nedeštruktívnemu ohrevu chrbtovej časti hmyzu. Existujú štúdie, ktoré poukazujú na možnosť riadenej stimulácie hmyzu pôsobením lokálneho mikroohrevu – čo je zároveň motiváciou nášho experimentu. Predpokladáme, že zvládnutie vývoja oboch týchto štruktúr nájde uplatnenie aj v iných oblastiach/riešeniach v rámci ústavov SAV či v spolupráci so slov. univerzitami. Hlavným cieľom teda je uľahčeni experimentu sociálneho správania sa zvoleného druhu hmyzu (Drosophilae).Drosophilae boli v projekte zvolené ako modelový organizmus, pretože je známe, ze >60 percent ľudskych závažných ochorení CNS / mozgových ochorení má identický genetický pôvod. Hierarchická štruktúra nervovej sústavy drozofíl sa podobá štruktúre mozgu cicavcov, teda do istej miery aj ľudí, čo podmieňuje ich koplikované správanie sa (reprodukcia, spánok, schopnosť učiť sa, rojenie – vytváranie organizovaných spoločenských skupín). Ako širší dopad tejto bilaterálnej spolupráce sledovaním sociálneho správania sa drozofíl môžeme pomôct pochopiť príčinu niektorých závažných ochorení mozgu (Parkinson, Alzheimer…), pomôct v aplikácii neurónovych sietí, a pod. Výsledky projektu môžu zasiahnuť aj do širších oblastí, ako už bolo spomenuté (napr. vedy o živej prírode / medicínske vedy). |
Design and simulation for micro robotic devices (Description in Slovak language) Návrh a simulácia mikrorobotických prístrojov | |
Anotácia: Skúmanie a riešenie metód a prostriedkov pre návrh a simuláciu mikro-elektromechanických zariadení v robotike. predmetom rozpracovania sú nasledujúce problémy:- Metodika analýzy mikro-mechanických štruktúr. – Modelovanie a simulácia za účelom optimálneho návrhu s využitím multikriteriálnej optimalizácie.- Návrhy, riešenia a experimentálne overenia mikro-efektov (uchopovačov) pre vybrané aplikácie. |
Semiconducting Metal Oxide – New Materials For Environmental Sensors (Description in Slovak language) Polovodivé oxidy kovov – nové materiály pre environmentálne senzory | |
Anotácia: Návrh tohto projektu je motivovaný výskumom nových polovodivých materiálov na báze oxidov kovov ako sú oxid titaničitý TiO2, NiO, ZnO, ako aj súčasným stavom vývoja elektrónovej litografie (EBL), ktorá je jednou z alternatívnych metód prípravy mikro- a nanoštruktúr.Návrh projektu je zameraný na získanie nových vedeckých poznatkov pri príprave štruktúr v nanometrovej oblasti rozmerov (50 – 150 nm) v elektrónových rezistoch na tenkých vrstvách polovodivých oxidov kovov. Sústredíme sa na výskum vplyvu procesov elektrónovej litografie na výsledné nanometrové štruktúry pripravené v elektrónových rezistoch na nekonvenčných materiáloch, ako sú polovodivé oxidy kovov, a to z hľadiska rozlíšenia, presnosti rozmerov štruktúr v reziste a tvaru bočných stien štruktúr v reziste. Dôležitou súčasťou tohto projektu sú simulácie litografických parametrov elektrónových rezistov na tenkých vrstvách polovodivých oxidov kovov. Na základe získaného know-how a simulácií litografických parametrov pripravíme nano-metrové štruktúry v tenkých vrstvách polovodivých oxidov kovov (vrátane TiO2) pre vývoj chemorezistívnych senzorov plynov. |
Robust Lithography of Submicron nad Nano-dimensional Structures (Description in Slovak language) Výkonná litografia submikrometrových a nanometrových štruktúr | |
Anotácia: Tento projekt nadväzuje na predchádzajúci projekt Slovensko-Bulharskej vedecko-technickej spolupráce, v ktorom boli riešené problémy submikrometrovej elektrónovej litografie. V tomto projektu navrhujeme rozšíriť experimenty a simulácie do oblasti nanometrových rozmerov štruktúr. Výroba obvodov v nanometrovej oblasti si vyžaduje veľmi presnú reguláciu profilu štruktúr v polymérnych rezistoch. Proces simulácie je kľúčový pre optimalizáciu výsledkov litografického procesu. Konečným cieľom projektu je využitie výsledkov výskumu pre expozície štruktúr v oblasti rozmerov menej ako 100 nm. Projekt má nasledovné ciele: – príprava spoločných publikácií,- spoločná aktívna účasť na konferenciách EBT 2010 v Bulharsku a APCOM 2011 na Slovensku,- vzájomné využívanie špeciálnych laboratórnych zariadení – elektrónového litografu ZBA a rastrovacej elektrónovej mikroskopie v SAV a AFM mikroskopie v BAN,- zbieranie výskumných materiálov v oblasti nanolitografie pre výukové a popularizačné účely. |
(Micro) Electro-mechnisms for robotics and extremely work spaces (enviroments). (Description in Slovak language) (Mikro) Elektro-Mechanizmy pre robotiku a extrémne pracovné prostredia. | |
Anotácia: Projekt skúma metódy a rieši prostriedky pre návrh, modelovanie, a simuláciu elektro-mechanických zariadení, najmä snímačov mechanických veličín a akčných členov pre špecifické použitie v robotike a extrémne pracovné prostredia. Riešenie pozostáva zo vzájomnej synergie skúmania vlastností mechanických častí – deformačných členov, elektroniky pre spracovanie a prenos signálov, EMC) ako aj metód vyhodnocovania údajov. Predmetom riešenia sú teoretické a metodické rozpracovania nasledujúcich problémov: – Analýza, modelovanie a simulácia vlastností pružných mechanických štruktúr vhodných pre riešenie snímačov a akčných členov. – Optimálne riešenia elektro-mechanických štruktúr a snímačov mechanických veličín a akčných členov. – Skúmanie metód bezvodičového prenosu signálov, vyhodnocovanie a spracovanie signálov, kalibrácia. |
Centre of Excelence for New Technologies in Electrical Engineering (Description in Slovak language) Budovanie Centra excelentnosti pre nové technológie v elektrotechnike – II. etapa | |
Anotácia: Strategickým cieľom projektu je„Zvýšenie potenciálu pre špičkový základný výskum Centra excelentnosti pre nové technológie v elektrotechnike a jeho prínosu pre spoločnosť a prax“.Projekt má nasledovné špecifické ciele:1: Zabezpečenie efektívneho fungovania a riadenia Centra excelentnosti2: Zvýšenie výskumného potenciálu Centra špičkovými prístrojmi potrebnými pre realizáciu prebiehajúcich a pripravovaných projektov3: Zvýšenie spoločensko-hospodárskej pridanej hodnoty Centra excelentnosti. |
Center of Excellence for New Technologies in Electrical Engineering (Description in Slovak language) Centrum excelentnosti pre nové technológie v elektrotechnike – I.etapa | |
Anotácia: ÚI SAV sa podieľal na realizácii projektu CENTE-I v rámci výzvy Operačného programu Výskum a vývoj na opatrenie č. 4.1 Podpora sietí excelentných pracovísk výskumu a vývoja ako pilierov rozvoja regiónu v Bratislavskom kraji so strategickým cieľom zvýšiť výskumno-vývojový potenciál BSK regiónu v oblasti elektrotechniky pre potreby spoločensko-hospodárskej praxe a medzinárodnej vedecko-technickej spolupráce. Medzi špecifické ciele projektu patrí najmä zlepšenie technickej infraštruktúry špičkových výskumných pracovísk v oblasti elektrotechniky v Bratislavskom regióne, keďže súčasná úroveň technickej infraštruktúry neumožňuje realizovať viaceré výskumné aktivity, vybavenie Centra špičkovými prístrojmi potrebnými pre realizáciu prebiehajúcich a pripravovaných projektov, zvýšenie úrovne informačno-komunikačných technológií Centra a integrácia Centra do regionálnej a medzinárodnej spolupráce. Centrum excelentnosti tvoria nasledovné nové laboratóriá: Laboratórium pre nanášanie kovov v čistých priestoroch, Laboratórium pre prípravu a tvarovanie nanoštruktúr a Laboratórium pre detekciu klastrov v tenkých vrstvách. ÚI SAV je zapojený do výskumnej činnosti Laboratória pre prípravu a tvarovanie nanoštruktúr. Rieši výskumné a aplikačné úlohy v oblasti elektrónovej litografie. |
Electron beam lithography of nanometer structures for 2D materials on the base of metal sulfides (Description in Slovak language) Elektrónová litografia nanometrových štruktúr pre 2D materiály na báze sulfidov kovov | |
Anotácia: Motivácia projektu vychádza jednak z výskumu nových 2D materiálov ako sú sulfidy kovov (WS2), a tiež zo súčasného stavu vývoja elektrónovej litografie (EBL), ako jednej z alternatívnych metód prípravy štruktúr v 2D elektronike. Projekt je venovaný získaniu nových vedeckých poznatkov o tvarovaní nanometrových štruktúr (10-100nm) v elektrónových rezistoch. Pozornosť bude venovaná výskumu vplyvu procesov pri elektrónovej litografii na výsledné nanometrové štruktúry v elektrónových rezistoch z hľadiska rozlíšenia, presnosti rozmerov štruktúr a drsnosti hrán štruktúr v reziste. Budú sa študovať parametre ovplyvňujúce profil nanometrových štruktúr v polymérnych rezistoch. Dôležitou súčasťou projektu sú simulácie litografických parametrov el. rezistov na tenkých polovodičových vrstvách, nitridových membránach a na vrstvách 2D materiálov (WS2). Na základe získaných poznatkov a simulácií litografických parametrov budú pripravené nanometrové štruktúry na týchto materiáloch podľa aktuálnych požiadaviek výskumu a vývoja. |
Electron Spin PolaRImeTer based on thin ferromagnetic membranes Elektrónový spinový polarimeter na báze tenkých feromagnetických membrán | |
Annotation: The aim of the presented project is the development of a new type of electron spin polarimeterbased on spin-filtering effects in ferromagnetic thin films. Such a detector may significantlycontribute to instrumental innovations, such as the development of spin resolved electronspectroscopy and microscopy techniques.The work is concentrated on the elaboration on optimised structures exhibiting spin-filtering.These structures will combine two types of magnetic membranes of a few nanometre thicknessbased on:- transition metals (Fe, Co) coated with Au- transition metal oxides (Fe3O4).Specific technological processes will be developed for the fabrication of the membranessupported on an appropriate substrate. The structure properties will be characterized and testedusing spin-polarized electron spectroscopy.The objectives of this project are: joint publications, active participation at conferences in Franceand Slovakia, organizing joint scientific activities, engaging young researchers on both sides,preparation of joint international projects, mutual use of special laboratory equipment andresearch materials collection in the field of nanotechnology (spintronics, spin polarimetry, thinfilm technology, e-beam lithography) for educational and popularization purposes.The present proposal aims renewing already existing, but for the moment being somehowinterrupted, contacts with SAV partner. |
Physics of Information (Description in Slovak language) Fyzika informácie | |
Anotácia: ÚI SAV rieši čiastkové úlohy prípravy nanoštruktúr metódou priamej elektrónovej litografie a návrh technológie a realizáciu obvodu mikroelektromagnetickej matice pre manipuláciu s nanočasticami. |
Hybrid Spintronic Nanostructures Controlled by Spin-Polarized Current Hybridné spintronické štruktúry riadené spinovopolarizovaným prúdom | |
Annotation: Project goal: Spintronic GMR and TMR nanopillars (lateral size (150nm) for current induced magnetization switching (CIMS) studies will be prepared and analyzed. GMR nanopillars will be prepared by UHV deposition and nanoparticles lift off lithography and electron beam lithography (EBL). Novel TMR nanopillars with embedded magnetic nanoparticles will be prepared by UHV evaporation, LB nanoparticles deposition and EBL. Magnetic configurations of nanopillars will be studied by scanning MOKE microscope. We will study correlation between nanopillar structure, interface roughness (vertical and lateral correlations) and Neel ferromagnetic coupling with magnetic and CIMS behavior with the aim to lower the switching current. Magnetization behaviour in situ by its spin polarized current switching will be analyzed by simultaneous simultaneous the R (dynamic) vs. current and Kerr rotation vs. H experiments. |
Mechatronic vision system (Description in Slovak language) Mechatronický vizuálny systém | |
Anotácia: Navrhovaný mechatronický vizuálny systém je určený na automatické snímanie a monitorovanie statických a pohybujúcich sa objektov. Systém pozostáva z niekoľkých relatívne nezávislých podsystémov spolupracujúcich za účelom dosiahnutia spoločného cieľa rozpoznať existenciu a pohyb relatívne malých objektov od pozadia, hlásiť ich polohu, rýchlosť a zrýchlenie, predikovať pohyb a podporovať sledovanie pohybujúceho sa objektu. Kombinácia automatického rozpoznávacieho systému s automatickou predikciou pohybu objektu a riadenim orientácie kamery napomáha schopnosti celého systému pracovať autonómne v reálnom čase. Systém je navrhnutý modulárne, aby umožňoval jednoduchú adaptáciu na viacero statických a mobilných kamier mechanicky orientovaných v priestore dvoma stupňami voľnosti. Otvorená architektúra systému umožní integráciu riadenia skupiny, spracovanie denného a nočného obrazu a rôzne geometrické výpočty. |
MEMS structures based on load cell MEMS štruktúry na báze poddajných mechanizmov | |
Annotation: The project is focused on the analysis, synthesis and design of electromechanical sensors based on MEMS with wireless transmission of information about the sensed phenomena. Solution of the project will focus on exploring appropriate topology structures especially in relation to the proposal required parameters MEMS sensors. Comprehensive proposal includes a parallel proposal to both the mechanical and electrical parts of the sensor. When mechanical design emphasis will be placed on analysis modeling and linearisation characteristics of MEMS structures. The electric field of the settlement project focuses on analyzing the electromagnetic deja suitable for the transmission of information and supplement sensor electrical elements as to avoid compromising the required mechanical properties. The electric field due consideration to the topology of MEMS mechanical structures with its direct use for applying electrical elements. |
Micro-electro-mechanical structures and sensors for use in the automotive industry and transportation (Description in Slovak language) Mikro-elektro-mechanické štruktúry a senzory pre využitie v automobilovom priemysle a doprave | |
Anotácia: Projekt je zameraný na nezávislý aplikovaný výskum a vývoj v oblasti návrhu snímačov neelektrických fyzikálnych veličín (chemické snímače, snímače sily/tlaku/priblíženia, snímače plynov). Projekt sa zároveň zaoberá technologickými možnosťami výroby mikro-elektro-mechanických štruktúr (MEMS) prostredníctvom inovatívnych prístupov elektrónovej litografie. Projekt je zameraný na doménu RIS3 SK Dopravné prostriedky pre 21. storočie, kde sa primárne zameriava na znalostnú oblasť Materiálové inžinierstvo a nanotechnológie a produktovú líniu Materiály, štruktúry, senzory a prvky.V moderných vozidlách sa rapídne zvyšuje využitie a zložitosť elektronických technológií. Všetky elektronické systémy vo vozidle závisia od vstupných parametrov získaných zo senzorov, pričom vzrastá podiel senzorov vyrábaných pomocou technológií MEMS. Realizácia samotného výskumu a vývoja v projekte prispeje k skvalitneniu výskumno vývojových kapacít žiadateľa zapojením špičkových výskumníkov zo zahraničia do výskumného tímu. Ich spolupráca s výskumníkmi žiadateľa sa začala v minulosti a bude pokračovať aj v ďalších rokoch počas riešenia projektu a počas doby udržateľnosti projektu. |
Micro-electro-mechanical structures and sensors for application in automotive industry (Description in Slovak language) Mikro-elektro-mechanické štruktúry a senzory pre využitie v automobilovom priemysle a dopraveKód | |
Anotácia: Projekt je zameraný na nezávislý aplikovaný výskum a vývoj v oblasti návrhu snímačov neelektrických fyzikálnych veličín (chemické snímače, snímače sily/tlaku/priblíženia, snímače plynov). Projekt sa zároveň zaoberá technologickými možnosťami výroby mikro-elektro-mechanických štruktúr (MEMS) prostredníctvom inovatívnych prístupov elektrónovej litografie. Projekt je teda zameraný na doménu RIS3 SK Dopravné prostriedky pre 21. storočie, kde sa primárne zameriava na znalostnú oblasť Materiálové inžinierstvo a nanotechnológie a produktovú líniu Materiály, štruktúry, senzory a prvky. V moderných vozidlách sa rapídne zvyšuje využitie a zložitosť elektronických technológií. Všetky elektronické systémy vo vozidle závisia od vstupných parametrov získaných zo senzorov, pričom vzrastá podiel senzorov vyrábaných pomocou technológií MEMS. Realizácia samotného výskumu a vývoja v projekte prispeje k skvalitneniu výskumno vývojových kapacít žiadateľa zapojením špičkových výskumníkov zo zahraničia do výskumného tímu. Ich spolupráca s výskumníkmi žiadateľa sa začala v minulosti a bude pokračovať aj v ďalších rokoch počas riešenia projektu a počas doby udržateľnosti projektu. |
Nanostructured thin-film materials and innovative technologies for MEMS gas and heavy metal sensors (Description in Slovak language) Nanoštruktúrne tenkovrstvové materiály a inovatívne technológie pre MEMS senzory plynov a ťažkých kovov | |
Anotácia: Zámerom projektu je základný výskum v oblasti hľadania nových progresívnych materiálov na báze jednoduchých a zmiešaných kovových oxidov ako aj nových podkladových materiálov pre mikroelektródové polia. Predpokladáme, že naše aktivity budú zamerané na prípravu a výskum vlastností tenkých In2O3, TiO2, NiO vrstiev a ich vybraných kombinácii, pričom takéto vrstvy spolu so submikrometrovým elektródovým systémom a mikromechanickou platformou na báze polyimidovej membrány budú integrované do MEMS senzorov na detekciu plynov. Pozornosť bude venovaná aj výskumu pyrolytickej uhlíkovej vrstvy ako podkladu pre depozíciu Bi, pričom na stanovenie ťažkých kovov vo vodných syntetických roztokoch a reálnych vzorkách vody sa použije senzor, ktorý bude zahŕňať všetky 3 elektródy vo vertikálnom usporiadaní. Pre takýto integrovaný senzor bude optimalizovaná metodika merania pomocou elektrochemickej rozpúšťacej analýzyalebo potenciometrickej stripping analýzy. |
Durable sensor system for industrial environments with high pressures, temperatures and high levels of electromagnetic interference (Description in Slovak language) Odolný senzorický systém do priemyselných prostredí s vysokými tlakmi, teplotami a vysokým stupňom elektromagnetického rušenia (EkoWatt) | |
Anotácia: Cieľom projektu je vytvoriť senzorický systém pre extrémne prostredia odolný do vysokých teplôt až 400ºC, do vysokých tlakov až 1000 bar a v prostrediach vysokých stupňov elektromagnetického rušenia. Odolný systém senzorov je určený pre zabudované (embedded) riadiace systémy technologických procesov, kde sa v rôznych kombináciách vyskytujú hore uvedené podmienky okolia. Takýmito systémami sú ultrahlboké vrty pre výrobu elektrickej energie z geotermálnych zdrojov v hĺbke až 10 km, ďalej obdobné podmienky sú aj v niektorých zložitých metalurgických procesoch, náročných zváracích procesoch, výskume a výrobe nových materiálov za vysokých teplôt a tlakov, vojenskej oblasti a v riadení nových hybridných elektrických automobilov. |
Computer kit for development, modeling, simulation and animation of mechatronic systems (Description in Slovak language) Počítačová stavebnica pre vývoj, modelovanie, simuláciu a animáciu mechatronických systémov | |
Anotácia: Predmetom projektu je návrh a vypracovanie efektívnych nástrojov počítačovej syntézy riadiacich mechatronických systémov pracujúcich v reálnom čase. Realizácia programovej stavebnice statických a mobilných kinematických mechanizmov umožní modelovať riadené objekty, simulovať algoritmy ich riadenia a zároveň bude platformou vývoja reálneho riadiaceho systému skutočných objektov. Cieľom projektu je vypracovať metodiku navrhovania nových riadiacich mechatronických systémov, poskytnúť efektívny nástroj na modelovanie statických aj mobilných objektov riadenia a vytvoriť prostredie pre simuláciu riadiacich algoritmov za účelom ich postupného overovania. Stavebnica má umožniť vývoj a realizáciu nového riadiaceho systému reálnych objektov riadenia a zároveň aj príslušného trenažéru, ktorého objekty riadenia sú simulované. Uvedená koncepcia poskytuje možnosť implementácie nového riadiaceho systému postupným nahradzovaním simulovaných objektov reálnymi. |
Advanced MEMS chemical sensors for extreme conditions Pokročilé MEMS chemické senzory pre extrémne podmienky | |
Annotation: Much efforts of the project research team will be made to introduce the new designed MEMS sensoric device in all its complexity and multidisciplinary basis. Therefore, besides the modelling and fabrication methods developed, much attention will be devoted to new methodology of sensing and detection and new non-conventional methods to analyze the basic thermo-mechanical properties of the MEMS device in both stationary dynamic process conditions. |
Preparation of \’active\’ tips for probe microscopy by MOCVD (Description in Slovak language) Príprava \’aktívnych\’ hrotov sondovej mikroskopie metódou MOCVD | |
Anotácia: Cieľom tohto projektu je rozpracovať technológiu „aktívnych hrotov“ sondových mikroskopov so súčiastkami (tranzistorom, senzormi, a pod.) umiestnenými priamo na stenách týchto hrotov. Takýmto spôsobom bude možné priamo vyhodnocovať meranú veličinu (elektrické pole, magnetické pole, teplotu, náboj, atď.), bez medziprevodu na mechanickú veličinu (ohyb nosníka). Aktívna vrstva bude na hrotoch na báze kvantových heteroštruktúr narastených metódou MOCVD na GaAs a InP. Okrem prípravy neplanárnych objektov a ich zarastania kvantovými štruktúrami cieľ projektu vyžaduje zvládnuť neplanárne technologické kroky ako litogrofiu, prípravu metalizácií, ohmické kontakty, pasiváciu a pod. na rôznych kryštalografických rovinách i mimo nich. Počítačové simulácie použijeme na určenie transportných vlastností takto pripravených súčiastok. Uvedený postup predstavuje úplne nový prístup ku skenovacím technikám a v ďalšom období môže priniesť významné aplikačné možnosti.ÚI SAV rieši čiastkovú úlohu viacúrovňovej priamej elektrónovej litografie pre tvarovanie aktívnych hrotov sondovej mikroskopie, pripravených na báze kvantových heteroštruktúr metódou MOCVD a submikrometrových Hallovských sond a realizáciu fotomasiek pre vývoj technológie „aktívnych hrotov“ sondových mikroskopov so súčiastkami (tranzistormi, senzormi, a pod.) umiestnenými priamo na stenách týchto hrotov. |
Tools for design and simulation of (Micro) Electro-Mechanical Systems (MEMS). (Description in Slovak language) Prostriedky pre návrh a modelovanie (mikro) elektro-mechanických systémov (MEMS). | |
Anotácia: Projekt skúma metódy a rieši prostriedky umožňujúce modelovanie a návrh (mikro) elektro-mechanických systémov (MEMS). Štúdium a rozpracovanie problematiky sa zakladá na poznatkoch zo stavby a riadenia robotických mechanizmov, riešenia senzorov so spracovaním signálov ako aj uplatnenia (mikro) technológii na ich realizáciu. Predmetom riešenia sú teoretické a metodické rozpracovania okruhov problémov zameraných na :- modelovanie a optimálny návrh mechanizmov a mechanických.štruktúr s pružnými / elastckými prvkami- vývoj technológií MEMS. |
Tools for design, modeling and simulation of micro electro-mechanical systems /MEMS/ (Description in Slovak language) Prostriedky pre návrh, modelovanie a simuláciu mikro-elektromechanických štruktúr a mechanizmov /MEMS/ | |
Anotácia: Projekt skúma metódy a rieši prostriedky pre modelovanie, návrh a simuláciu (mikro)elektro-mechanických štruktúr a systémov (MEMS). Štúdium a rozpracovanie problematiky sa zakladá na poznatkoch zo stavby a riadenia robotických prostriedkov, riešenia senzorov so spracovaním signálov, ako aj uplatnenia (mikro) technológii na ich realizáciu. Predmetom riešenia sú teoretické a metodické rozpracovania nasledujúcich problémov:- Analýza, modelovanie a simulácie vlastností MEMS, založených najmä na kompaktných pružných mechanických štruktúrach s integrovanou elektronikou- Metódy a prostriedky pre optimálny návrh a riešenie MEMS v súvislosti aplikačným zameraním |
Construction and control of micro-electro-mechanical elements and devices. (Description in Slovak language) Stavba a riadenie mikro-elektro-mechanických prvkov a zariadení. | |
Anotácia: Projekt skúma metódy a rieši prostriedky pre modelovanie, návrh a simuláciu (mikro)elektro-mechanických štruktúr a systémov (MEMS). Štúdium a rozpracovanie problematiky vychádzaz mechatronického prístupu a zakladá sa na poznatkoch zo stavby a riadenia robotickýchprostriedkov, riešenia senzorov so spracovaním signálov ako aj uplatnenia (mikro) technológiina ich realizáciu.Predmetom riešenia sú teoretické a metodické rozpracovania nasledujúcich problémov:-Analýza, modelovanie a simulácia vlastností MEMS založených na kompaktných pružne poddajnýchmechanických štruktúrach s integrovanou elektronikou.-Skúmanie metód a prostriedkov pre optimálny návrh a riešenie MEMS v súvislosti s aplikačným určením.-Informačno-riadiace sytémy s MEMS. Skúmanie metód prenosu a spracovania signálov (senzory), komunikácie a riadenia (mikro-robotické prvky a zariadeni… |
Technology for the Production of Massively Parallel Intelligent Cantilever – Probe Platform for Nanoscale Analysis and Synthes (Description in Slovak language) Technológia výroby matice paralelných inteligentných nosníkov – sondových platform pre analýzu a syntézu v nanometrovej oblasti | |
Anotácia: Finačná podpora SAV pre projekt 6RP č. 515739 PRONANO na vykrytie nenárokovateľných výdajov, napr. DPH. |
Investigation of novel nanolithographic technologies (Description in Slovak language) Výskum nových nanolitografických technológii | |
Anotácia: Predmet riešenia navrhovaného projektu patrí do oblasti vývoja nových nanolitografických technológií a postupov, ktoré sú kľúčovou technológiou vo výrobe nanoelektronických obvodov a nanosystémov. Nové a progresívne riešenia vo vývoji nanotechnológií budú hrať rozhodujúcu úlohu pre výrobu obvodov s rozmermi elementov menej ako 50 nm, v nanofotonike, v nanomagnetických prvkoch, v molekulárnej nanotechnológii, NEMS (nano-elektro-mechanických systémoch) technológii a pod. Príprava nanometrových štruktúr na neštandardných podložkách priamou litografiou s maximálnou presnosťou súkrytu ako aj príprava membránových masiek pre iónovú litografiu sú hlavnou oblasťou navrhovaného projektu. K tomu je potrebné optimalizovať expozície vhodných maskovacích materiálov (rezistov), prípravu dát pomocou nových algoritmov a optimalizáciu nových technologických procesov prípravy štruktúr. |
Investigation of processes for the preparation of structures for nanometer scale devices (Description in Slovak language) Výskum procesov prípravy štruktúr pre obvody na nanometrovej úrovni | |
Anotácia: Tento projekt je zameraný na pokročilé procesy tvarovania ortogonálnych a neortogonálnych štruktúr, ktoré umožnia rozšíriť mikrotechnológie do nanometrovej oblasti. Budú skúmané nové prístupy k expozičným postupom a k postupom vyvolávania rezistov, ako aj korelácia s následnou technológiou plazmatického reaktívneho iónového leptania leptania (RIE). Dosiahnutie týchto cieľov si vyžiada systematické štúdiumlimitujúcich faktorov pri interakcii elektrónov s rôznymi typmi rezistov a pri ich vyvolávaní, následného zložitého procesu vzájomného pôsobenia technologických parametrov, ako sú urýchľovacie napätie, expozičná dávka, podmienky vyvolávania, ako aj interakcia s následnými technologickými krokmi (suché plazmatické leptanie, lift-off, a pod.). |
PFO-CAD CP93: 7896 – Copernicus program – Geometric Modeling for CIM-oriented Virtual Reality (Description in Slovak language) PFO-CAD CP93: 7896 – Copernicus program – Geometric Modeling for CIM-oriented Virtual Reality | |
Anotácia: Geometric Modeling for CIM-oriented Virtual Reality – PFO-CAD CP93: 7896 Zodpovedný riešiteľ za Ústav teórie riadenia a robotiky SAV bol Doc. RNDr. Jaroslav Fogel, CSc.; J. Sebestyénová vložila info o projekte do systému ELVYS; spoluriešitelia projektu z UTRR SAV (od r.2004 pripojený k Ústavu informatiky) boli: J. Fogel, P. Kurdel, K. Dobrovodský, J. Sebestyénová CSG Modelling is part of almost all CAD-systems for the modelling of solid state matter. Numerous theoretical investigations and implementations have been carried out. Besides its advantages CGS models need still to be modified into envelope representations for many applications. Parametrizing and real time capabilities are getting lost by this process. European links: The project will run in strict conjunction with CP93-9554 DODECAS The Modelling will be made capable of real time by focussing on a subset of CSG Models. Generic storage in databases will be established by using appropriate canonization of representations. Deductive retrieval of variants will be eased substantially. Názov čiastkovej úlohy, ktorú riešil kolektív z nášho ústavu: Fast matching algorithm for protein graphs |
Processing of sensor data via Artificial Intelligence methods. (Description in Slovak language) Spracovanie údajov zo senzorov prostriedkami umelej inteligencie | |
Anotácia: Projekt sa zameria na výskum nových metód a algoritmov spracovania multisenzorových dát pre úlohy diagnostiky objektov, vyhodnocovania oblastí záujmu, bezpečnej komunikácie a zjednodušenia tvorby nových inteligentných modelov. Výskum bude prioritne orientovaný na moderné metódy umelej inteligencie s dôrazom na hlboké učenie. Algoritmy umelej inteligencie preukazujú výrazne lepšie výsledky v porovnaní s klasickými metódami a príkladom je obrovský pokrok spresnenia sémantického segmentovania obrazu pomocou hlbokého učenia v posledných piatich rokoch. Moderné miniatúrne elektromechanické štruktúry s nízkou cenou umožňujú jednoduchú integráciu a skupinové nasadenie viacerých senzorov vedúce k produkcii obrovského objemu multisenzorových dát, ktoré nie je možné manuálne spracovať. Výstupom budú nové modely presnej sémantickej segmentácie obrazu, modely presnej diagnostiky objektov, modely kooperácie viacerých senzorov a bezpečného prenosu dát, najmä v prostredí Internetu vecí – IoT a Priemysel 4.0. |
Research and development of new information technologies for anticipating and resolving crisis situations and ensuring public safety (Description in Slovak language) Výskum a vývoj nových informačných technológií na predvídanie a riešenie krízových situácií a bezpečnosť obyvateľstva (CRISIS) | |
Anotácia: Bezpečnosť obyvateľstva, predvídanie živelných pohrôm a krízový manažment patria v súčasnosti k aktuálnym témam v spoločnosti. Rozvoj IT umožňuje uplatnenie sofistikovaných metód v snahe redukovat ohrozenie obyvateľstva, majetku a životného prostredia. Realizáciou aktivít projektu sa dosiahne synergický efekt, ktorý posilní schopnosť všetkých aplikačných výstupov uplatniť sa v praxi. Jednotlivé aktivity projektu sú navzájom previazané s cieľom integrovať výsledky výskumu do široko koncipovaného bezpečnostného systému, ktorého použiteľnosť bude vo viacerých oblastiach ochrany obyvateľstva, majetku a životného prostredia. Prínosom projektu bude najmä obohatenie výskumu v jednotlivých oblastiach o ďalšie aspekty, ktoré zvýšia pridanú hodnotu výsledného riešenia. Výhodou komplexného prístupu k riešeniu IS pre bezpečnosť je aj súčast výskumu v oblasti vývoja progresívnych technológií pre prípravu špeciálnych obvodov a senzorov pre IS. Prenositeľnosť výsledkov do praxe bude zlepšená pridaním takých vlastnostíbezpečnostných systémov, ako je používanie expresívnej rečovej syntézy pre generovanie citovo podfarbených varovaní, vytvorenie vizualizačných nástrojov pre simuláciu šírenia požiarov, vizualizáciu syntézy reči a prepojeniena mechatronické systémy, ktoré budú zabezpečovať monitorovanie pohyblivých objektov, detekovanie rizikových situácií a na smart mobilné mechatronické systémy pre zabezpečenie pohybu v rizikovom teréne. |