Projekty

samostatmý vedecký pracovník, podpredseda vedeckej rady
Ing. Pavol Hrkút, CSc.

Medzinárodné

Ukončené
  • Polovodivé oxidy kovov – nové materiály pre environmentálne senzory
    Program: Mobility
    Doba trvania: 1. 1. 2021 – 31. 12. 2022
  • Výskum elektrónových rezistov a príprava nanoštruktúr s využitím elektrónovej litografie vo výskume senzorov plynu
    Program: Medziakademická dohoda (MAD)
    Doba trvania: 1. 1. 2015 – 31. 12. 2017
  • Výkonná litografia submikrometrových a nanometrových štruktúr
    Program: Bilaterálne - iné
    Doba trvania: 1. 1. 2012 – 31. 12. 2013
  • Mikro- a nano-technologické procesy s využitím UV-, DUV- a elektrónovej litografie pre realizáciu mikro-, opto- a bio-elektronických prvkov.
    Program: Bilaterálne - iné
    Doba trvania: 1. 1. 2009 – 31. 12. 2010
  • Technológia výroby matice paralelných inteligentných nosníkov –sondových platform pre analýzu a syntézu v nanometrovej oblasti
    Program: 6RP
    Doba trvania: 1. 4. 2005 – 30. 9. 2010
  • Inovácia sub-mikrometrovej elektrónovej litografie
    Program: Bilaterálne - iné
    Doba trvania: 1. 1. 2007 – 31. 12. 2009
  • Mikrotechnologické procesy pre veľké štruktúrované plochy s vysokou hustotou prvkov vhodné pre realizáciu optických prvkov a hologramov.
    Program: Bilaterálne - iné
    Doba trvania: 1. 1. 2007 – 31. 12. 2008
  • Radikálna inovácia bezmaskovej nanolitografie
    Program: 6RP
    Doba trvania: 1. 10. 2005 – 30. 9. 2008

Národné

Aktuálne
  • Environmentálne senzory na báze 2D nanomateriálov
    Program: APVV
    Doba trvania: 1. 8. 2024 – 31. 7. 2026
  • Progresívne metódy transferu nanoštruktúrnych polovodivých 2D materiálov na báze dichalkogenidov tranzitných kovov do mikroelektronických prvkov
    Program: VEGA
    Doba trvania: 1. 1. 2022 – 31. 12. 2025
Ukončené
  • Elektrónová litografia nanometrových štruktúr pre 2D materiály na báze sulfidov kovov
    Program: VEGA
    Doba trvania: 1. 1. 2018 – 31. 12. 2021
  • Výskum procesov prípravy štruktúr pre obvody na nanometrovej úrovni
    Program: VEGA
    Doba trvania: 1. 1. 2015 – 31. 12. 2017
  • Pokročilé mikro/nano technologické procesy s využitím elektrónovej litografie.
    Program: VEGA
    Doba trvania: 1. 1. 2012 – 31. 12. 2014
  • Výskum a vývoj nových informačných technológií na predvídanie a riešenie krízových situácií a bezpečnosť obyvateľstva
    Program: Štrukturálne fondy EÚ Výskum a vývoj
    Doba trvania: 3. 1. 2011 – 31. 12. 2013
  • Výskum nových nanolitografických technológii
    Program: VEGA
    Doba trvania: 1. 1. 2009 – 31. 12. 2011
  • Centrum excelentnosti pre nové technológie v elektrotechnike - I.etapa
    Program: Štrukturálne fondy EÚ Výskum a vývoj
    Doba trvania: 15. 5. 2009 – 14. 5. 2011
  • Pokročilé MEMS chemické senzory pre extrémne podmienky
    Program: APVV
    Doba trvania: 1. 6. 2008 – 31. 12. 2010
  • Technológia výroby matice paralelných inteligentných nosníkov – sondových platform pre analýzu a syntézu v nanometrovej oblasti
    Program: Vedecko-technické projekty
    Doba trvania: 1. 1. 2009 – 31. 12. 2009
  • Fyzika informácie
    Program: Centrá excelentnosti SAV
    Doba trvania: 1. 1. 2005 – 31. 12. 2008
  • Výskum nových rezistových materiálov pre litografiu novej generácie
    Program: VEGA
    Doba trvania: 1. 1. 2006 – 1. 12. 2008
Pracovníci