Vedúci: Ing. Mgr. Robert Andok, PhD.
Zástupca vedúceho: RNDr. I. Kostič
Oddelenie sensorových informačných systémov a technológií vzniklo zlúčením Oddelenia elektrónovej litografie a Oddelenia senzorových systémov. Spája rozsiahle skúsenosti s tvorbou mikro- a nanostruktúr pomocou elektrónovej litografie s odbornými znalosťami v oblasti sensorových systémov.
Zameranie výskumu:
- Tvorba mikroštruktúr a nanoštruktúr pomocou elektrónovej litografie
- Vývoj a aplikácia pokročilých senzorových systémov
- Výskum fyzikálnych javov v elektrónovej litografii pri príprave štruktúr v tenkých vrstvách v sub-mikrometrovej (150-900 nm) a nanometrovej oblasti rozmerov (10-100 nm).
- Výskum rezistových materiálov citlivých na elektrónové žiarenie.
- Optimalizácia litografických procesov a korelácia následných technologických procesov ako je plazmatické leptanie a príprava tenkých vrstiev s využitím rezistových masiek.


