Sensorické informačné systémy a technológie

Vedúci: Ing. Mgr. Robert Andok, PhD.
Zástupca vedúceho: RNDr. I. Kostič


Oddelenie sensorových informačných systémov a technológií vzniklo zlúčením Oddelenia elektrónovej litografie a Oddelenia senzorových systémov. Spája rozsiahle skúsenosti s tvorbou mikro- a nanostruktúr pomocou elektrónovej litografie s odbornými znalosťami v oblasti sensorových systémov.


Zameranie výskumu:

  • Tvorba mikroštruktúr a nanoštruktúr pomocou elektrónovej litografie
  • Vývoj a aplikácia pokročilých senzorových systémov
  • Výskum fyzikálnych javov v elektrónovej litografii pri príprave štruktúr v tenkých vrstvách v sub-mikrometrovej (150-900 nm) a nanometrovej oblasti rozmerov (10-100 nm).
  • Výskum rezistových materiálov citlivých na elektrónové žiarenie.
  • Optimalizácia litografických procesov a korelácia následných technologických procesov ako je plazmatické leptanie a príprava tenkých vrstiev s využitím rezistových masiek.