Vedúci: Ing. Mgr. Robert Andok, PhD.
Zástupca vedúceho: RNDr. I. Kostič
Oddelenie sensorových informačných systémov a technológií vzniklo zlúčením Oddelenia elektrónovej litografie a Oddelenia senzorových systémov. Spája rozsiahle skúsenosti s tvorbou mikro- a nanostruktúr pomocou elektrónovej litografie s odbornými znalosťami v oblasti sensorových systémov.
Zameranie výskumu
- Tvorba mikroštruktúr a nanoštruktúr pomocou elektrónovej litografie
- Vývoj a aplikácia pokročilých senzorových systémov
- Výskum fyzikálnych javov v elektrónovej litografii pri príprave štruktúr v tenkých vrstvách v sub-mikrometrovej (150-900 nm) a nanometrovej oblasti rozmerov (10-100 nm).
- Výskum rezistových materiálov citlivých na elektrónové žiarenie.
- Optimalizácia litografických procesov a korelácia následných technologických procesov ako je plazmatické leptanie a príprava tenkých vrstiev s využitím rezistových masiek.
| PERSONÁL |
| Pracovníci katedry senzorových informačných systémov a technológií Vedúci práce: Ing. Š. Havlík, DrSc. |
| RNDr. Mária Bárdošová, CSc. |
| Bývalí kolegovia: Ing. Ladislav Matay, PhD., Ing. Pavol Písecný, PhD., RNDr. Mária Bardošová, CSc., RNDr. Miroslav Belov, PhD., Mgr. Jozef Bugár, Janka Capeková, Ing. Stanislav Fekete, Ing. Peter Kadlečík, Ing. Juraj Šmatlík, Ing. Alexander Bardoš, Ing. Ervín Barta, Ing. Ľuboš Štefaňák, Ing. Roman Trebichavský |