Zariadenia pre finalizáciu čipov:diamantová píla, kontaktovačka (VEB Elektromat).
– Ďalšie zariadenia potrebné pre výskumnú špecializáciu Oddelenia elektrónovej litografie sú zabezpečené v rámci spolupráce s inými výskumnými pracoviskami. Plazmatické leptanie štruktúr metódou reaktívneho iónového leptania s ECR zdrojom (ECR RIE) je zabezpečené spoluprácou s ElÚ SAV a plazmatické leptanie štruktúr metódou reaktívneho iónového leptania s ICP zdrojom (ICP RIE) je zabezpečené spoluprácou s FEI STU. Doplnková rastrovacia elektrónová mikroskopia je zabezpečená spoluprácou s na ElÚ SAV na zariadení Quanta FEG250 (FEI).
