Komplex zariadení pre prípravu mikroštruktúr vo výskume a vývoji mikroelektronických obvodov, senzorov a mikrosystémov. Výskumno-vývojová infraštruktúra Oddelenia elektrónovej litografie ÚI SAV je rozdelená do nasledovných laboratórií:
- Laboratórium elektrónovej litografie,
- Laboratórium fotolitografie
- Laboratórium prípravy tenkých vrstiev,
- Laboratórium plazmatického leptania
- Laboratórium optickej mikroskopie,
- Laboratórium vyhodnocovania, merania a analýzy štruktúr
- Chemické laboratórium pre prácu s kyselinami, hydroxidmi, polymérmi, polyimidmi a chemickými roztokmi
- Laboratórium pre finalizáciu čipov Základom tejto výskumno-vývojovej infraštruktúry sú klimatizované čisté priestory v budove ÚI SAV.
infraštruktúra