Vedúci: Ing. Mgr. Robert Andok, PhD.
Zástupca vedúceho: RNDr. Ivan. Kostič
Oddelenie senzorických informačných systémov a technológií vzniklo zlúčením Oddelenia elektrónovej litografie a Oddelenia senzorových systémov. Spája rozsiahle skúsenosti pri tvorbe mikro- a nanoštruktúr pomocou elektrónovej litografie s odbornými znalosťami v oblasti senzorických systémov.
Zameranie výskumu
- Vývoj a aplikácia pokročilých senzorických systémov, najmä senzorov plynov (CO2, H2 a pod.)
- Tvorba mikroštruktúr a nanoštruktúr pomocou elektrónovej litografie
- Výskum fyzikálnych javov v elektrónovej litografii pri príprave štruktúr v tenkých vrstvách v sub-mikrometrovej (150-900 nm) a nanometrovej oblasti rozmerov (10-100 nm).
- Výskum rezistových materiálov citlivých na elektrónové žiarenie.
- Optimalizácia litografických procesov a korelácia následných technologických procesov ako je plazmatické leptanie a príprava tenkých vrstiev s využitím rezistových masiek.
| ČLENOVIA ODDELENIA |
| Ing. Mgr. Robert Andok, PhD. |
| MSc. Friday Ikechukwu Agu |
| Ing. Vladislav Barák |
| RNDr. Mária Bardošová, CSc. |
| Ing. Anna Benčurová |
| Ing. Štefan Havlík, DrSc. |
| prof. Ing. Ivan Hotový, DrSc. |
| Ing. Jaroslav Hricko, PhD. |
| Ing. Pavol Hrkút, CSc. |
| Ing. Jaromír Klarák. PhD. |
| Ing. Anatolii Kliuchka |
| Ing. Anna Konečníková |
| RNDr. Ivan Kostič |
| Ing. Pavol Nemec |
| Ing. Martin Predanocy, PhD. |
| Ing. Adrian Ritomský |
| Ing. Mário Ritomský |
| Ing. Jaroslava Škriniarová, CSc. |
| RNDr. Mária Bárdošová, CSc. |
| Bývalí kolegovia: |
| Dipl.-Ing. Dr. Peter Hudek, Ing. Ladislav Matay, PhD., Ing. Igor Čaplovič, Ing. Pavol Písečný, PhD., RNDr. Mária Bardošová, CSc., RNDr. Miroslav Belov, PhD., Mgr. Jozef Bugár, Janka Capeková, Ing. Stanislav Fekete, Ing. Peter Kadlečík, Ing. Juraj Šmatlík, Ing. Alexander Bardoš, Ing. Ervín Barta, Ing. Ľuboš Štefaňák, Ing. Yanko Sarov, PhD., Ing. Roman Trebichavský |