Aplikácie oddelenia elektrónovej litografie
• Aplikácie, v ktorých je potrebná litografia: mikroelektronika, optoelektronika, fotonika, senzory, mikro-elektro-mechanické systémy, nanotechnológie.
• Príprava štruktúr v sub-mikrometrovej oblasti rozmerov metódou priamej viacúrovňovej elektrónovej litografie na podložkách s priemerom až do 160 mm.
• Príprava masiek pre reaktívne iónové leptanie (RIE)
• Príprava štruktúrovaných povrchov pre nanotechnológie.
• Príprava tenkých vrstiev – metódami magnetrónového naprašovania a naparovania elektrónovým lúčom.
• Výroba fotomasiek pre UV a dUV fotolitografiu.
|
|
