Projects/Slovak Republic/Investigation of Novel Resist Materials for Next Generation Lithography
RESEARCH PROJECT NAME
Investigation of Novel Resist Materials for Next Generation Lithography
Slovenský názov
Výskum nových rezistových materiálov pre litografiu novej generácie
Evidenčné číslo projektu
VEGA 2/6184/26
Začiatok: 01.01.2006 Koniec: 01.12.2008
Koordinátor projektu
ÚI SAV
Krajina koordinátora
Slovensko
Zodpovedný riešiteľ
Pavol Hrkút
Program
VEGA
Podprogram
2006
Your browser does not support inline frames or is currently configured not to display inline frames.
